產(chǎn)品型號

1200℃開啟式管式爐 OTF-1200X-5L

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V ;50Hz，必須有良好接地

3 、氣： 如作為 CVD 系統(tǒng)使用，需自備氣源 （標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 100kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點

1、雙層殼體，配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體表面溫度<55℃。

2、爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料。

3 、內(nèi)爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高反射率和潔凈度，同時延長使用壽命。

4 、采用 PID 控制器， 可以設(shè)置 30 段升降溫程序。

5 、已通過 CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源： AC 220V    50Hz/60Hz    6KW

2、石英管： 外徑 Ø125mm ，內(nèi)徑 Ø120mm ，長 1400mm（可選 Ø80mm 、Ø100mm）

  3、加熱元件： 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯

  4、加熱區(qū)域： 880mm

  5、恒溫區(qū)域： 440mm

  6 、工作溫度：  1200℃（<1h）， 連續(xù)工作 1100℃

  7、升降溫速率： 20℃/min

  8、控溫精度：± 1℃

  9、真空度： 10-2torr （機械泵）， 10-5torr  （分子泵）

  10、漏氣率： <5mtorr/min

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 1100mm×450mm×670mm；重量： 80kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

石英管

1 根

2

氧化鋁管堵

4 個

3

不銹鋼法蘭

2 個

4

高溫手套

1 雙

可選 配件

1、鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm

2、石英管堵

3 、KF25 轉(zhuǎn)接頭

4、卡套接頭

5、滑軌法蘭

6、移動爐架