型號：

混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z

描述：產(chǎn)品簡介：混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z是用于控制一種到三種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐

廠商性質(zhì)
經(jīng)銷商
更新時間
2024-03-07
訪問量
226

詳細介紹

產(chǎn)品簡介：混氣系統(tǒng) 3 路質(zhì)子 GSL-3Z 是用于控制一種到三種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐，這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架內(nèi)，管式爐可以放在移動架上面，氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥，可以用于 CVD 系統(tǒng)及退火爐，用來研究氣體環(huán)境對材料的影響，在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用，廣泛應用于電子工藝設備，如擴散、氧化、外延、 CVD、等離子濺射以及鍍膜設備、光纖熔煉、混氣配氣系統(tǒng)及其它分析儀器。

產(chǎn)品型號

混氣系統(tǒng) 3 路質(zhì)子 GSL-3Z

主要特點

精度高，運行穩(wěn)定可靠，工作壓力范圍寬，可在高壓或真空條件下工作，且操作使用方便。

技術(shù)參數(shù)

1、電源： 185-245V 50Hz

2、輸出功率： 18W

3 、控制范圍：控制器 1——0-100SCCM 、控制器 2——1-199SCCM 、控制器

3——1-499SCCM

5、準確度：± 1%FS

6、線性：±0.5-1.5%

7、重復精度：±0.2%FS

8、響應時間：氣特性 1-4s ，電特性 10s 針閥： 316 不銹鋼

	9、工作壓差范圍： 0.1-0.5 MPa
	10、壓力表測量范圍： -0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid）
	11、混氣罐： ?80mm×120mm 12、截止閥： ?1/4″ ，316 不銹鋼針閥
	13、工作溫度： 5-45℃
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸： 600mm×600mm×650mm